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PMF 系列 干式真空泵浦
干净至轻制程的最佳选择
PMF 系列是一款专为干净至轻制程应用设计的极低功耗且体积精巧的干式真空泵浦,特别适用于晶片传输、PVD及量测(metrology) 等制程,已获得诸多全球半导体大厂认可。节能高达50%
产品特点与优势
. 独特的转子结构设计,有助于在正常大气压下提升抽气效率
. 变频器 (VFD) 控制
. 抽速范围 (100–1800 m3/hr)
. 占地面积小
. 高投资回报 (ROI)
. 节能高效
. 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证
投资回报年限(ROI)
技术规格