汉钟精机-P-PDM/PMH 干式螺旋/多级鲁氏

PDM/PMH 系列干式真空泵浦

专为中度至严苛制程环境设计，PDM/PMH 系列兼具耐用性与节能效能。相较前一世代机型，能源表现全面提升：

．用电量降低高达 60%

．碳足迹减少最高 40%

凭藉跨世代的创新设计，汉钟真空泵浦不仅满足业界对能源效率与永续发展的需求，更为关键制程提供更高可靠性与生产力，同时有效降低营运成本并减少环境冲击。

产品特点与优势

．弹性化设计 – 可依制程需求选择不同的转子涂层
．抽速范围 100–1800 m3/hr
．可靠性验证 – 专为先进制程而生，有效减少粉末沉积，已成功通过多家客户应用验证
．节能效益 – 低功耗以降低运行成本
．小巧轻量设计 – 超低噪音、低振动，满足多样化制程需求
．可灵活更换通讯模组，搭配不同设备
．高投资回报(ROI)
．提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证

PDM系列干式螺旋真空泵浦技术规格

PMH系列干式多级鲁氏真空泵浦技术规格