• 關 於 漢 鐘
    關於漢鐘 公司沿革 漢鐘精神 漢鐘優勢
  • 產 品 資 訊

    RT離心式冷媒壓縮機

    RT離心式 RTM磁浮離心式

    R 螺旋式冷媒壓縮機

    RC2 半密閉螺旋式 RC2-AV 變頻式螺旋式 RC2-ExP 防爆型半密螺旋式 RE 高效型螺旋冷媒壓縮機 RG 開放螺旋式 LB 低溫專用螺旋式 LT 單機雙段螺旋式

    P 乾式真空泵浦

    工業專用

    PS 乾式螺旋 PD 乾式螺旋

    半導體專用

    PMF 乾式多級魯氏 – 超低功耗 PDM/PMH 乾式螺旋/多級魯氏 – 高效低耗 iPH 乾式螺旋 – 高需求製程專用

    A 螺旋式空氣壓縮機

    AA8 螺旋式 AM3 永磁變頻式 AY無油螺旋式 SDS 日立無油式 政府能源效率補助專案機種 SAM無油渦卷式
  • 產 品 應 用

    RT離心式冷媒壓縮機

    離心機應用

    R 螺旋式冷媒壓縮機

    中央空調應用 防爆應用 冷凍及冷藏系統 氨冷媒低溫系統 變頻應用

    P 螺旋真空泵浦

    Vacuum Applications

    A 螺旋式空氣壓縮機

    系統規劃 節能應用
  • 技 術 資 料
    選機程式 技術手冊 馬達外部接線及保護示意
  • 最 新 消 息
    參展資訊 最新職缺 股東專區(漢鐘投控)
  • 連 絡 我 們
    連絡資訊 經銷據點
  • RT離心式冷媒壓縮機
    • RT離心式
    • RTM磁浮離心式
  • R 螺旋式冷媒壓縮機
    • RC2 半密閉螺旋式
    • RC2-AV 變頻螺旋式
    • RC2-ExP 防爆半密閉螺旋式
    • RE 高效型螺旋式
    • RG 開放螺旋式
    • LB 低溫專用螺旋式
    • LT 單機雙段螺旋式
  • P 乾式真空泵浦

      工業專用

    • PS 乾式螺旋
    • PD 乾式螺旋
    • 半導體專用

    • PMF 乾式多級魯氏
    • PDM/PMH 乾式螺旋/多級魯氏
    • iPH 乾式螺旋
  • A 螺旋式空氣壓縮機
    • AA8 螺旋式
    • AM3 永磁變頻式
    • AY無油螺旋式
    • SDS 日立無油式
    • 政府能源效率補助專案機種
    • SAM無油渦卷式

    PMF 系列 乾式真空泵浦


    乾淨至輕製程的最佳選擇
    PMF 系列是一款專為乾淨至輕製程應用設計的極低功耗且體積精巧的乾式真空泵浦,特別適用於晶片傳輸、PVD及量測(metrology) 等製程,已獲得諸多全球半導體大廠認可。節能高達50%



    • 產品特點與優勢
        1. • 獨特的轉子結構設計,有助於在正常大氣壓下提升抽氣效率
        2. • 變頻器 (VFD) 控制
        3. • 抽速範圍 (100–1800 m³/hr)
        4. • 佔地面積小
        5. • 高投資回報 (ROI)
        6. • 節能高效
        7. • 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 認證
    • 投資回報年限(ROI)



    • 技術規格