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    工业专用

    PS 干式螺旋 PD 干式螺旋

    半导体专用

    PMF 干式多级鲁氏 – 超低功耗 PDM/PMH 干式螺旋/多级鲁氏 – 高效低耗 iPH 干式螺旋 – 高需求制程专用

    A 螺旋式空气压缩机

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    PD 系列 干式螺旋真空泵


    延续经典,升级可靠性

    以汉钟PS 系列的核心技术为基础,PD 系列延续并升级了这项市场领先的技术,并以更简单的结构与更坚固耐用的设计 为核心。PD 系列具备更高的性能及更低的维护成本,能为客户带来多年稳定可靠的运行表现。汉钟PD 系列干式螺旋真空泵浦提供 PD120~PD800及多种鲁氏泵组合,高度客制化,可灵活满足不同产业与应用需求。

    PD 系列特色与优势

    简单的电气设计

    内建标准变频器,安装与通讯更直觉。搭载多重保护感测器,确保运行时的 高可靠性与安全性

    低能耗

    承袭 PS 系列的优良转子设计,PD 系列进一步优化能效,具备更低的运行功耗,帮助客户降低能源成本并实现环境友好。

    智慧化数据监测与控制

    支援多种通讯介面,能即时掌握泵浦运行状态,并可轻松进行 远端控制与智慧化管理



      以下为汉钟精机股份有限公司所提供的干式真空泵浦的型号种类

    • 应用制程领域
      • 干式螺旋真空泵浦的型号有:
        PD120、PD300、PD500、PD800、PD702、PD1402、PD1902、PD3012

        PD 干式螺旋真空泵浦 S/N型的特色有:
        1. 抽气速度:1,300~100,000L/min
        2. 终极压力:7.5 x 10-3 ~ 7.5 x 10-4 Torr
        3. 选配中央监控系统,预防真空泵浦不正常停机
        4. 选配变频及人性化操控介面
        5. 适用于一般真空镀膜、烤箱、热处理、食品、化学工业应用


        1. 锂电产业(Lithium-ion battery)
        2. . 电极干燥(Electrode drying)
        3. . 电解液填充(Electrolyte filling)
        4. . 化成(Formation)
        5. 冶金与金属制程(Metallurgy)
        6. 等离子制程(Plasma applications)
        7. 航太与模拟应用(Aerospace & Simulation)
        1. 太阳能产业(Solar)
        2. . 矽晶拉制(Silicon crystal-pulling)
        3. . 光伏层压(PV lamination)
        4. 镀膜与表面处理(Coating & Surface treatment)
        5. 变压器产业(Transformer)
        6. . 真空干燥、脱气处理
        7. . 油处理与封装
    • 技术规格
    • 专为工业制程设计的高可靠真空解决方案
        1. 高效、可靠、可定制
        2. . 提供高效水冷与风冷选项,并支援防爆马达
        3. . 多样密封
        4. . 涂层选项
        5. . 支援 NEMA / IEC 法兰
        6. PDE系列:风冷型,安装维护简便
        7. PDC系列:防爆马达,通过 ATEX 认证