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iPH 系列干式螺旋真空泵浦
专为严苛制程环境设计
提供可靠且高效的运行表现。凭藉宽温度适用范围,泵浦可灵活调整运行条件,有效降低凝结与粉层累积。iPH 系列在严苛制程中展现长久寿命与显著功率效率提升。此外,拥有镀层技术,进一步增强抗腐蚀性能,保障泵浦在长期运行中的稳定性与可靠性。
产品特点与优势
. 精简转子结构设计,延长平均无故障时间(MTBF)
. 抽速范围 (100–1800 m3/hr)
. 真空度稳定可靠性
. 适用多种制程应用
. 模组化设计,便于维护
. 可灵活更换通讯模组,搭配不同设备
. 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 认证
技术规格