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iPH 系列乾式螺旋真空泵浦
專為嚴苛製程環境設計
提供可靠且高效的運行表現。憑藉寬溫度適用範圍,泵浦可靈活調整運行條件,有效降低凝結與粉層累積。iPH 系列在嚴苛製程中展現長久壽命與顯著功率效率提升。此外,擁有鍍層技術,進一步增強抗腐蝕性能,保障泵浦在長期運行中的穩定性與可靠性。
產品特點與優勢
• 精簡轉子結構設計,延長平均無故障時間(MTBF)
• 抽速範圍 (100–1800 m³/hr)
• 真空度穩定可靠性
• 適用多種製程應用
• 模組化設計,便於維護
• 可靈活更換通訊模組,搭配不同設備
• 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 認證
技術規格