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    RT離心式冷媒壓縮機

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    P 螺旋真空泵浦

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    iPH 系列乾式螺旋真空泵浦


    專為嚴苛製程環境設計

    提供可靠且高效的運行表現。憑藉寬溫度適用範圍,泵浦可靈活調整運行條件,有效降低凝結與粉層累積。iPH 系列在嚴苛製程中展現長久壽命與顯著功率效率提升。此外,擁有鍍層技術,進一步增強抗腐蝕性能,保障泵浦在長期運行中的穩定性與可靠性。



    • 產品特點與優勢
        1. • 精簡轉子結構設計,延長平均無故障時間(MTBF)
        2. • 抽速範圍 (100–1800 m³/hr)
        3. • 真空度穩定可靠性
        4. • 適用多種製程應用
        5. • 模組化設計,便於維護
        6. • 可靈活更換通訊模組,搭配不同設備
        7. • 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 認證


    • 技術規格