漢鐘精機-P-PDM/PMH 乾式螺旋/多級魯氏

PDM/PMH 系列乾式真空泵浦

專為中度至嚴苛製程環境設計，PDM/PMH 系列兼具耐用性與節能效能。相較前一世代機型，能源表現全面提升：

• 用電量降低高達 60%

• 碳足跡減少最高 40%

憑藉跨世代的創新設計，漢鐘真空泵浦不僅滿足業界對能源效率與永續發展的需求，更為關鍵製程提供更高可靠性與生產力，同時有效降低營運成本並減少環境衝擊。

產品特點與優勢

• 彈性化設計 – 可依製程需求選擇不同的轉子塗層
• 抽速範圍 100–1800 m³/hr
• 可靠性驗證 – 專為先進製程而生，有效減少粉末沉積，已成功通過多家客戶應用驗證
• 節能效益 – 低功耗以降低運行成本
• 小巧輕量設計 – 超低噪音、低振動，滿足多樣化製程需求
• 可靈活更換通訊模組，搭配不同設備
• 高投資回報(ROI)
• 提供SEMI-S2 / SEMI-F47 / CE 認證

PDM系列乾式螺旋真空泵浦技術規格

PMH系列乾式多級魯氏真空泵浦技術規格